JMAG WV を用いた表面波干渉プラズマの発生機構考察とプラズマ源改善

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キヤノン株式会社　鈴木 伸昌

概要

JMAG WVを用いた電磁波解析を行い、隣接するスロットから導入された表面波同士が誘電体窓の表面において干渉し表面定在波が安定に励起される、表面波干渉プラズマの発生機構を考察した。
更に、JMAG WVを用いてスロットの位置・方向・長さ、誘電体窓の径・厚さなどの構造パラメータを最適化し、表面波電界分布を均一化し高密度プラズマを均一に発生させることのできる二階建マルチスロットアンテナ(DMA)を開発した。

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