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松下電工株式会社 光武 義雄
概要
超磁歪材料は圧電素子と比較して、エネルギー密度が大きく1500ppm 程度の大変位が得られることが特徴であり、kHz オーダの高応答性を有している。この大出力、大変位、高速応答性により精密位置決め装置やブレーキシステム等への応用が検討されている。
しかしながら，大変位とはいえ10mm 程度の材料長では、μｍオーダの変位が限界であり、小型、大変位を両立させるためには変位を拡大する手段の検討が必要となる。
本研究ではETREMA社の超磁歪材料（Terfenol-D）を用い、mmオーダの変位で数百Hz程度の応答性を目標とした様々な大変位リニア振動子を提案し、有限要素法を用いて高効率な磁気回路を検討するとともに、試作実験により動作特性の評価を行った。
