セイコー化工機株式会社
技術開発研究所
平櫛 真男
概要
高度な清浄性が求められる半導体業界や医薬品製造業界における液移送では、ポンプ内部にある軸受からの磨耗粉が問題となることがある。そこで、我々は、この問題の解決手段として、回転軸と軸受部が機械的に接触しない完全非接触回転機構を有する超伝導浮上ポンプの開発を行っている。
超伝導浮上ポンプは、超伝導浮上原理を応用したポンプである。その浮上する回転子に回転力を伝達する動力伝達カップリングでは、高トルクを伝達させるために、磁石間の磁力を大きくする必要があるが、その吸引力は、超伝導の浮上効果を阻害してしまう。したがって、低吸引力かつ高トルクなマグネットカップリングが必要となる。
本研究では、磁場解析による磁石配置等の検討により、超伝導浮上ポンプの動力伝達カップリングの最適化を行った。
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